ASML оптимизирует обслуживание литографических машин
Патент EP4289759A1 предлагает способ планирования профилактических работ на литографическом оборудовании с учетом влияния на производительность.
Это снижает потери при замене модулей и улучшает управление графиком техобслуживания.
Важно для производителей оборудования, работающих с high-volume фабриками чипов.
Подписывайся на сайт www.tmark.pro
